康寧推出熱膨脹接近零、可對應小製程晶片生產的EXTREME ULE Glass

康寧 宣布推出對應半導體生產需求的玻璃產品—EXTREME ULE Glass，標榜能對應下一代晶片製程技術，藉此推動以更小製程催生更高效能的人工智慧運算能力。

EXTREME ULE Glass採用新材料設計，將能協助半導體製造商改善用於晶片設計模版的光罩設計，可承受最高強度的極紫外光 (EUV)黃光製程技術，以及高數值孔徑 (High NA)的極紫外光照射。

其中，EUV黃光製程技術允許半導體製造商使用最先進的光罩，藉此針對更小、更複雜的晶片設計進行圖案化與印刷最佳化。該製程需要極高的熱穩定性和均質的玻璃材料，以確保製造效能一致。

「隨著人工智慧的興起，對於積體晶片製造的需求日益增長，玻璃技術的創新比以往任何時候都更加重要。」康寧先進光學副總裁暨總經理Claude Echahamian說道：「康寧的EXTREME ULE Glass將有助於實現更高功率的EUV製造和更高的良率，在追求摩爾定律中擴大康寧所扮演的積極角色。」

EXTREME ULE Glass以二氧化鈦矽酸鹽玻璃材料製作，透過接近零的熱膨脹特性有助於在所有光罩中維持一致性，而玻璃的平整度和均質性表現更大幅降低光罩波度 (waviness)，有助於製造商控制不必要的變因，並且推動高階鍍膜的應用，此外也能減少生產過程使用能源與廢棄物比例。

《原文刊登於合作媒體mashdigi，聯合新聞網獲授權轉載。》